| Название: | О влиянии точности определения параметров образца на погрешность измерения толщины тонких слоев методами поверхностного плазмонного резонанса и рефлектометрии |
|---|---|
| Авторы и аффилиации: |
Анисимов А.В. (основной автор / докладчик) Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН (НТЦ УП РАН) Хасанов И.Ш. Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН (НТЦ УП РАН) |
| Аннотация: | Выполнен сравнительный численный анализ систематических погрешностей измерения толщины тонких пленок (<50 нм) методами поверхностного плазмонного резонанса (ППР) и рефлектофотометрии (РФМ). Показано, что для ППР погрешность определения толщины металлического слоя (Ag) подложки в 1% даёт погрешность определения толщины диэлектрического напыления оксида кремния в 0,015 нм. Для метода РФМ погрешность определения толщины металла (Ag) в 1% даёт погрешность определения толщины напыления (SiO2) в 0,023 нм. Выявлено, что для РФМ доминирующей является случайная составляющая погрешности, связанная с инструментальным и фоновым шумом, в то время как для ППР решающее значение имеет корректное знание о геометрических параметрах подложки образца. Полученные результаты подтверждают преимущество ППР для неразрушающего контроля при изготовлении нанометровых диэлектрических покрытий, что особенно актуально для создания фотонных кристаллов и плазмонных сенсоров. |
| Тип: | Сборник (научных трудов) |
| Полное название конференции (съезда, симпозиума): |
АКУСТООПТИЧЕСКИЕ И РАДИОЛОКАЦИОННЫЕ МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЙ И ОБРАБОТКИ ИНФОРМАЦИИ |
| Место проведения: | НТЦ УП РАН, Москва |
| Вид конференции: | Международная |
| Тип доклада: | устный |
| Страницы: | 120-123 |
| Номера тем гос.задания: | FFNS-2025-0007 |
| Ссылка на страницу в eLIBRARY: | https://elibrary.ru/item.asp?id=83262691 |
| eLIBRARY ID: | 83262691 |
| Код EDN: | VOKZOK |
| Рекомендуемая библиографическая ссылка: | Анисимов А.В., Хасанов И.Ш. О влиянии точности определения параметров образца на погрешность измерения толщины тонких слоев методами поверхностного плазмонного резонанса и рефлектометрии // АКУСТООПТИЧЕСКИЕ И РАДИОЛОКАЦИОННЫЕ МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЙ И ОБРАБОТКИ ИНФОРМАЦИИ / Сборник трудов. 2025. С. 120-123. EDN: VOKZOK. |
| Добавил в систему: | Анисимов А.В. - Анисимов Александр Владимирович |