| Название: | Контроль изменения толщины осаждаемых ультратонких диэлектрических покрытий посредством наблюдения поверхностного плазмонного резонанса видеокамерой |
|---|---|
| Авторы и аффилиации: |
Хасанов И.Ш. (основной автор / докладчик) Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН (НТЦ УП РАН) Анисимов А.В. Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН (НТЦ УП РАН) Лобастов С.А. Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН (НТЦ УП РАН) |
| Аннотация: | Рассматривается методика контроля толщины осаждаемых ультратонких диэлектрических покрытий с использованием наблюдения поверхностного плазмонного резонанса (ППР) видеокамерой. Традиционные методы спектроскопии пропускания или отражения не обеспечивают достаточной точности при исследовании пленок субволновой толщины. Более чувствительный метод ППР, основанный на возбуждении поверхностной электромагнитной волны, позволяет исследовать ультратонкие пленки с высокой точностью, однако требует сложных численных алгоритмов для вычисления толщин, что накладывает ограничения по скорости для применения в качестве оптического контроля при быстром процессе осаждения плёнки малой толщины. Предлагается простая аналитическая приближенная формула для оценки толщины покрытия по величине сдвига резонансного угла, что позволяет использовать её для оценки толщин в режиме реального времени. Рассмотрены необходимые предварительные оптимизации, калибровки, а также ограничения предлагаемой методики оптического контроля толщин... |
| Тип: | Журнал |
| Название журнала: | ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ПРИБОРОСТРОЕНИЯ |
| Том: | 13 |
| Страницы: | 79-85 |
| Номера тем гос.задания: | FFNS-2022-0009 |
| Ссылка на ЦКП и/или УНУ: | имеется |
| DOI: | 10.25210/jfop-2401-QHEJPB |
| ISSN: | 2225-4293 |
| Ссылка на страницу в eLIBRARY: | https://www.elibrary.ru/item.asp?id=69184997 |
| eLIBRARY ID: | 69184997 |
| Код EDN: | QHEJPB |
| Рекомендуемая библиографическая ссылка: | Хасанов И.Ш., Анисимов А.В., Лобастов С.А. Контроль изменения толщины осаждаемых ультратонких диэлектрических покрытий посредством наблюдения поверхностного плазмонного резонанса видеокамерой // ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ПРИБОРОСТРОЕНИЯ. 2024. Т. 13. С. 79-85. EDN: QHEJPB. DOI: 10.25210/jfop-2401-QHEJPB. |