Название: Метод расчета удельного сопротивления пленки с учетом параметров подложки
Авторы и аффилиации: Кукушкин В.А.
(основной автор / докладчик)
Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН (НТЦ УП РАН)

Зинин П.В.
Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН (НТЦ УП РАН)
Аннотация: Для контроля и анализа технологического процесса производства пленок необходим комплексный подход к оценке их электрических свойств. Определение электрических свойств пленок нанометровых толщин сопряжено с определенными сложностями: осаждение пленки производится на подложку, обладающую пусть и крайне малой, но все же ненулевой проводимостью, при этом толщина подложки может на несколько порядков превышать толщину пленки, что делает вклад подложки в проводимость всей структуры заметным. Таким образом, для достоверного определения электрических свойств тонких пленок необходимо учитывать электрические свойства подложки и ее физические размеры. Цель данной работы - определить влияние проводимости подложки на результат измерения проводимости осаждённой на нее пленки методом Ван Дер Пау, а также разработать метод точного вычисления проводимости пленки, если подложка имеет высокую проводимость, например из-за легирования.
Тип: Сборник (научных трудов)
Полное название конференции
(съезда, симпозиума):		 АКУСТООПТИЧЕСКИЕ И РАДИОЛОКАЦИОННЫЕ МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЙ И ОБРАБОТКИ ИНФОРМАЦИИ
Место проведения: Москва, 2024 Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН
Вид конференции: Международная
Тип доклада: устный
Страницы: 522-525
Номера тем гос.задания: FFNS-2022-0008
Ссылка на ЦКП и/или УНУ: имеется
Ссылка на страницу в eLIBRARY: https://www.elibrary.ru/item.asp?id=75064629
eLIBRARY ID: 75064629
Код EDN: ZCATKU
Рекомендуемая библиографическая ссылка: Кукушкин В.А., Зинин П.В. Метод расчета удельного сопротивления пленки с учетом параметров подложки // АКУСТООПТИЧЕСКИЕ И РАДИОЛОКАЦИОННЫЕ МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЙ И ОБРАБОТКИ ИНФОРМАЦИИ / Сборник трудов. 2024. С. 522-525. EDN: ZCATKU.