| Название: | Исследование и разработка методов модификации кантилеверов для атомно-силовой микроскопии |
|---|---|
| Авторы и аффилиации: |
Быков А.А. (основной автор / докладчик) Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН (НТЦ УП РАН) Высоких Ю.Е. Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН (НТЦ УП РАН) Зинин П.В. Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН (НТЦ УП РАН) Краснобородько С.Ю. Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН (НТЦ УП РАН) Чуриков Д.В. Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН (НТЦ УП РАН) Шевяков В.И. Национальный исследовательский университет «МИЭТ» |
| Аннотация: | Атомно-силовая микроскопия (АСМ) получает все более широкое распространение для характеризации поверхности твёрдых тел, композитов, полимеров, биообъектов и др. структур. Чувствительным элементом АСМ является специальный зонд (кантилевер). Для расширения возможностей АСМ актуальной задачей является модификация кантилеверов. Предложены методы обработки кантилеверов для уменьшения радиуса закругления и увеличения разрешающей способности. Разработан метод формирования проводящего покрытия АСМ кантилеверов, с использованием атомного слоевого осаждения (АСО), в качестве проводящего материала выбран нитрид титана (TiN). Получены образцы кантилеверов с функциональными покрытиями на базе алмазоподобных BCx пленок для повышения износостойкости. Использование импульсного лазерного осаждения позволяет сформировать на игле зонда однородное алмазоподобное покрытие карбида бора, а также не затрагивать обратную сторону балки кантилевера. |
| Тип: | Сборник (научных трудов) |
| Полное название конференции (съезда, симпозиума): |
АКУСТООПТИЧЕСКИЕ И РАДИОЛОКАЦИОННЫЕ МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЙ И ОБРАБОТКИ ИНФОРМАЦИИ |
| Место проведения: | Москва, 2024 Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН |
| Вид конференции: | Международная |
| Тип доклада: | устный |
| Страницы: | 162-165 |
| Ссылка на страницу в eLIBRARY: | https://www.elibrary.ru/item.asp?id=75064547 |
| eLIBRARY ID: | 75064547 |
| Код EDN: | GASLEY |
| Рекомендуемая библиографическая ссылка: | Быков А.А., Высоких Ю.Е., Зинин П.В., Краснобородько С.Ю., Чуриков Д.В., Шевяков В.И. Исследование и разработка методов модификации кантилеверов для атомно-силовой микроскопии // АКУСТООПТИЧЕСКИЕ И РАДИОЛОКАЦИОННЫЕ МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЙ И ОБРАБОТКИ ИНФОРМАЦИИ / Сборник трудов. 2024. С. 162-165. EDN: GASLEY. |